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聚焦離子/電子束雙束電鏡

功能:結構分析
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儀器型號:Heilios G4
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發布人:管理員
詳情 details

用于直接觀察導電、不導電樣品的表面形貌。用于金屬、半導體、電介質、多層膜結構等固體樣品上制備微納結構。離子束刻蝕、離子束沉積、電子束沉積。高質量定點TEM樣品制備。同時配有納米操作手、能譜儀,可以實現操縱和能譜分析。電子束成像分辨率0.8 nm,離子束成像分辨率4 nm,加工精度5 nm。

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