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感應耦合等離子刻蝕機（ICP）

功能：其他
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儀器型號：SI500
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發(fā)布人：管理員
詳情 details

可提供高速率、高選擇比以及低損傷的刻蝕。等離子體能夠在低氣壓下保持穩(wěn)定，因此能夠更好地控制刻蝕形貌。可以刻蝕Si, SiO2, 金屬薄膜等，氮氣、氬氣、 CHF3、SF6、 O2、 Cl2、 BCl3?。


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