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薄膜制備系統精準到原子級別

薄膜制備系統精準到原子級別

交易信息:
完全轉讓-0.00 元
技術領域:
應用領域:
最后更新時間:2022-07-29 13:50
所在地:
吉林省 長春市 南關區
所有者:
管理員
聯系方式:
13756056562
原子層沉積設備技術為國家科技重大專項02專項項目“32nm以下設備關鍵技術研究及創新設備技術探索”成果之一,研制產品針對32nm以下技術代原子層薄膜沉積(ALD)系統及相應的高K柵介質工藝驗證及新材料設備工藝進行探索。該機型突破“形核長大”薄膜材料生長原理,在國際上首創適變電場調制的原子層吸附生長方法,達到原子級別智能化,使得薄膜材料制備更精準、更致密、更均勻。
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